10.26165/JUELICH-DATA/NJJZPL Leis, Arthur0000-0001-5523-4697(Forschungszentrum Jülich GmbH)Schleenvoigt, Michael0000-0002-2384-0366(Forschungszentrum Jülich GmbH)Cherepanov, Vasily0000-0002-8016-7235(Forschungszentrum Jülich GmbH)Lüpke, Felix0000-0002-6430-9627(Forschungszentrum Jülich GmbH)Schüffelgen, Peter0000-0001-7977-7848(Forschungszentrum Jülich GmbH)Mussler, Gregor0000-0001-7230-0756(Forschungszentrum Jülich GmbH)Grützmacher, Detlev0000-0001-6290-9672(Forschungszentrum Jülich GmbH)Voigtländer, Bert0000-0001-9580-7031(Forschungszentrum Jülich GmbH)Tautz, F. Stefan0000-0003-3583-2379(Forschungszentrum Jülich GmbH) Jülich DATA 2021 We provide here the raw data used to produce the figures in the publication Leis et al. Adv. Quantum Technol., 2021, 2100083, DOI: 10.1002/qute.202100083. Fig_2a.stp, Fig_S1a.stp, Fig_S1b.stp, Fig_S1c.stp, Fig_S1e.stp, Fig_S2a.stp, Fig_S2b1.stp, Fig_S2b2.stp: Scanning tunneling microscopy data as acquired, used to produce figures 2a, 2c, S1a, S1b, S1c, S1d, S1e, S2a, S2b, S2c, S2d. WSxM format. Fig_3a.dat, Fig_3b.dat, Fig_4.dat: Data used to produce figures 3a, 3b, 4. ASCII format. Fig_2b.png, Fig_S3a2.png: Optical microscopy data used to produce figures 2b, S3a. Voigtländer, Bert(Forschungszentrum Jülich GmbH)